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激光三維掃描儀技術(shù)一般以數(shù)字化測(cè)量設(shè)備的輸出數(shù)據(jù)為原始信息來(lái)源。而激光三維掃描儀測(cè)量方法的好壞直接影響到對(duì)被測(cè)實(shí)體描述的精確、完整程度，影響到數(shù)字化實(shí)體幾何信息的速度，進(jìn)而影響到重構(gòu)的CAD 曲面、實(shí)體模型的質(zhì)量，并影響到整個(gè)工程的進(jìn)度和質(zhì)量。
三維掃描儀的數(shù)據(jù)采集方法在九十年代初，英國(guó)Renishaw 公司研制出一種三維力一位移傳感的掃描測(cè)量頭，該測(cè)頭可以在工件上滑動(dòng)測(cè)量，連續(xù)獲取表面的坐標(biāo)信息，掃描速度可達(dá)8 米/秒，數(shù)字化速度最高可達(dá)500 點(diǎn)/秒，精度約為0.03mm。
干涉法是通過(guò)測(cè)量?jī)墒喔晒獾墓獬滩顏?lái)計(jì)算物體的高度分布，測(cè)量精度相當(dāng)高，但測(cè)量范圍小，抗干擾能力弱，不適合測(cè)量凹凸變化大的復(fù)雜曲面。激光衍射法的情況與干涉法基本相同。層析法是近年來(lái)發(fā)展的一種技術(shù)，將研究的零件原形填充后，采用逐層銑削和逐層光掃描相結(jié)合的方法獲取零件原形不同位置截面的內(nèi)外輪廓數(shù)據(jù)，并將其組合起來(lái)獲得零件的三維數(shù)據(jù)。
基于相位偏移測(cè)量原理的莫爾條紋測(cè)量方法將光柵條紋投射到被測(cè)物體表面，光柵條紋受物體表面外形的調(diào)制，其條紋間的相位關(guān)系會(huì)發(fā)生變化，數(shù)字圖像處理的方法解析出光柵條紋圖像的相位變化量來(lái)獲取被測(cè)物體表面的三維信息。間隔法是利用光線飛行的時(shí)間來(lái)計(jì)算間隔，常采用激光和脈沖光束。激光三維掃描儀比較典型的應(yīng)用就是電子經(jīng)緯儀交繪測(cè)量法。這種方法測(cè)速慢，工作量大，測(cè)量相當(dāng)困難，但可以測(cè)很大的物體。